薄膜干涉检查平整度原理（薄膜干涉检查平面原理）

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1、 两块板之间形成空气膜，由单色光自上而下照射。入射光从空气膜的上下表面反射出两排光波，形成干涉条纹。

2、 如果被检查的平面是光滑的，所获得的干涉图样必须是等间距的。

3、 如果某处是凹的，则相应的亮线(或暗线)提前出现；如果某处有凸起，相应的条纹会在稍后出现。

4、 (注：“早”和“晚”不是指时间上，而是按位置从左到右的顺序)

5、 旋转法是一种方便快捷地判断被检平面是凸还是凹的经验方法，而不是一种可以从定理或定律推导出来的理论结果。

6、 具体方法是将干涉图样和器件一起在纸上旋转。

7、 旋转的方向是使装置的楔形气膜向下楔入，即装置呈V形。

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