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光刻技术的原理是什么意思(光刻技术的原理是什么)

导读 大家好,小皮来为大家解答以上问题。光刻技术的原理是什么意思,光刻技术的原理是什么这个很多人还不清楚,现在一起跟着小编来瞧瞧吧! 1、...

大家好,小皮来为大家解答以上问题。光刻技术的原理是什么意思,光刻技术的原理是什么这个很多人还不清楚,现在一起跟着小编来瞧瞧吧!

1、 光刻技术原理:集成电路制造中利用光学和化学反应原理以及化学和物理刻蚀方法,将电路图形转移到单晶或介质层表面,形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。

2、 随着半导体技术的发展,光刻技术中转移图形的尺寸极限降低了2到3个数量级,并从常规的光学技术发展到电子束、X射线、微离子束、激光等新技术。所使用的波长已经从4000埃扩展到0.1埃。

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