导读 俄罗斯媒体报道，圣彼得堡创建了一个光刻综合体，包括一个在基本上进行无掩模图像采集和硅等离子化学蚀刻的设备，第1台机器的成本约为500万
俄罗斯媒体报道，圣彼得堡创建了一个光刻综合体，包括一个在基本上进行无掩模图像采集和硅等离子化学蚀刻的设备，第1台机器的成本约为500万卢币，折合人民币约为36.74万。除俄罗斯之外，其他国外的同类产品价值高达数10亿卢币。
在2023年4月，莫斯科电子技术学院承接贸工部开发制造芯片的光刻机项目。这个项目的主要投资者是俄罗斯政府，首期投资资金为6.7亿卢比资金，折合人民币约为5,100万元。有相关研发专家表示，目前已经开发出两套用于生产微电子纳米结构的装置，这种研发结果有可能会解决俄罗斯在微电子领域技术的主权问题。项目的负责人表示使用这种设施创建的膜在可靠性以及灵敏度方向都会优于其他材料，同时，全部都是国产设备和技术。